洁净室设备的安装程序
时间：2015/7/30 02:50:03 编辑：广东明锐建设有限公司
为不妨碍洁净室设备安装，应在设备周围应留出足够的空间，但同时也要注意隔离区空间适度，不宜过大。所以，洁净室最有效的措施是在设备安装阶段用临时的隔墙或隔断把设备所在位置与洁净室隔离开来。具体操作程序及其他注意事项如下：
1）洁净室设备应尽可能通过服务通道或其他非关键区进人隔离区，如不可能则应采取措施尽量减少污染。
2）洁净室隔离区的气压相对于周边应维持中性或负压。完全封闭的隔离区则应该截断区内的洁净空调送风，避免或减少安装时产生的污染物向外扩散。
3）固定设备的安装程序应该事先制定计划，明确对洁净室隔离区和周围区域监控的方法和频率，确保能及时发现污染物由隔离区向外渗透的情况。
4）净化设备就位后，在架设各种动力设施，如电、水、气体、真空、压缩空气和排水管道时，应采取措施控制操作过程产生的烟气和残渣，避免污染周围的洁净室，也有助于减轻拆除隔断时的清洁工作量。
5）确保在设备安装工作完成后，清除隔离区内的污染，墙、地面、设备等所有表面都要用真空吸尘器清扫、清理和擦拭。要特别注意洁净室设备护板后面和下面区域的清洁。
6）隔离区清洁工作完成后，洁净室可以进行设备的试运行和设备性能的初步测试，但最后验收的测试，则需要完全具备洁净室的条件方可。
7）分析选定对洁净室内的正常工作干扰最少的时间拆除隔断墙。在小心地拆除隔断墙的同时，隔离区内原被临时阻断的送风口，开始恢复送入洁净空气。此过程中，宜于随时监测周边离子浓度的变化。
8）清理隔断后，设备所处位置恢复洁净室正常状态，开始对设备内部和关键工序部位，进行进一步清洁和作投人使用的准备。
9）对洁净室设备所有内腔与产品接触表面，也包括产品装卸的表面，都要进行擦拭，达到要求的洁净度水平。设备清洁顺序应是从顶到底。如果清洁过程中有颗粒物散出，则较大的粒子，在重力作用下将落到设备底部或地面。再次清洁设备外部，其顺序也是从顶至底。
10）在必要时候，应检查洁净室产品或工艺要求非常关键区域的表面粒子情况。
