洁净室安装净化设备时需注意什么
时间:2017/6/19 03:35:56 编辑:广东明锐建设有限公司
洁净室安装净化设备安装的有效方法是把设备与洁净室环境的其余部分隔离开,在隔离区域进行安装。以下都是要注意的点。
a、洁净室设备最好就是通过服务通道或其它非关键区进入隔离区。如果不可能,应采取措施尽量减少污染。洁净室流向该隔离区的气流应该保持中性压力或负压,避免气流强制流出工作区带来污染的可能性。
b、洁净室完全密封的隔离区不应从内部加压,否则污染可能会穿透隔离墙,影响周围的洁净室。隔离区内应该阻断洁净空气的送风,避免给周围的洁净室造成压力。如果只有通过相邻的洁净室才能进入隔离区,应该采用粘性垫,除掉鞋子上带的污染。进入隔离区后,使用一次性靴子或鞋套来避免污染。离开隔离区前要把这些一次性物品脱下并带走处理。
c、洁净室应该制定监控隔离区周围区域的方法和频率,确保能检测出任何渗漏进相邻洁净室内的污染。
d、安装架设各种动力设施,如电、水、气体、真空、压缩空气何废水管道时,应该注意对这些作业产生的烟气和残物尽可能全部加以控制和包纳,避免由于疏忽而弄到周围的洁净室内。而且这也有助于拆除隔离屏障前能起到有效的清洁。
e、洁净室安装净化设备应该采用认可的洁净程序清除整修隔离区的污染。所有表面都要真空清洁、擦拭和清理,包括所有的墙、固定的和便捷式的设备及地面。且要特别注意设备护板后面和设备下面区域的清洁。
f、净化设备安装完工后现场可以作一些内部的准备工作和设备性能的初步测试,但最后验收的测试要求完全具备洁净室条件才行。